于采用直流疊加脈沖電源的等離子體電場和離心凈化新技術，冷卻油霧凈化裝置的凈化過程是：首先將吸入的工業冷卻油霧經過均流板撞擊濾除部分大顆粒油滴后，等離子電場在脈沖高壓作用下對介質放電，從而產生等離子體，再將油霧微粒瞬間凝并成大顆粒油滴，被收集在集油板上，沉降到集油槽內；由于高速風力的影響，未經等離子電場轟擊下的油霧微粒在離心凈化作用下，形成油液，沉降到集油槽內，達到徹底的凈化。與此同時，存在于等離子體內的（OH-、O2-、H+、O3），直接打斷各種有機氣體分子之間的分子鍵，使有害氣體分解，從而對甲醛、二甲苯、二氧化硫、氨氮氧化物等有害氣體和異味產生降解和氧化作用，有效地對有機物質和異味進行降解處理，最終排放對人體無害的氣體，保證凈化機高凈化率和長清洗周期。1．均流板格柵層濾除油霧中的雜質，使油霧廢氣均勻通過凈化裝置，確保油霧凈化效率最大化，同時利用機械碰撞、重力沉降的原理，使均流板上形成的大顆粒油滴滑入集油槽內。2．等離子電場凈化層根據工藝流程，將等離子電場按功率大小分為二級，以降低運行成本。第一級凈化選用大功率等離子電源，凈化0.1μm以下的煙霧和有害物質；第二級凈化選用小功率等離子電源，徹底消除前一級凈化后的殘余物質。3．離心脫離凈化層由于高速風力的影響，未經等離子電場轟擊下的油霧微粒在離心凈化作用下，形成油滴沉降。4．異味凈化層強化型油霧凈化機還增設異味消除裝置，主要凈化材料為催化氧化劑，在油霧凈化的同時有效消除異味。