去離子水是指除去了呈離子形式雜質后的純水。國際標準化組織ISO/TC147規定的“去離子”定義為： 　　“去離子水完全或不完全地去除離子物質，主要指采用離子交換樹脂處理方法?！? 　　現在的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。 　　應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細菌的繁殖。 　　從自來水到去離子水一般要經過幾步處理： 　　先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質 　　然后高壓通過反滲透膜 　　最后一般還要經過一步紫外殺菌以去除水中的微生物 　　假如此時電阻率還沒有達到要求的話 　　可以再進行一次離子交換過程最高電阻率可達到18兆 　　相對而言蒸餾水只是先氣化再冷凝 　　純度如電導率一般不如純度高的去離子水 　　實際半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水