★水質要求 微電子工業、集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質的要求也越高，這也對超純水處理工藝及產品的簡易性、自動化程度、生產的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求。中國電子工業部電子級水質技術標準（18M .cm、15M .cm、10M .cm、2M .cm、0.5M .cm五級標準）★工藝流程☆二級反滲透制備超純水工藝流程預處理(砂濾器、碳濾器、軟化器) 一級反滲透裝置 中間水箱 二級反滲透裝置 超純水水箱 純水泵 用水點8