概述 EdwardsSTPA1303C是為半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計的渦輪分子泵。Edwards的先進(jìn)轉(zhuǎn)子技術(shù)可實現(xiàn)一流的性能和最大的制程靈活性。STPA1303C已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認(rèn)可。 應(yīng)用 金屬（鋁）屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物） 電子回旋共振(ECR)刻蝕 薄膜沉積CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD 濺射 離子注入源，射束線泵送端點站 MBE 擴(kuò)散 光致抗蝕劑脫模 晶體/晶膜生長 晶片檢查 負(fù)載鎖真空腔 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡 高能物理：射束線、加速器 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋 功能和優(yōu)勢 先進(jìn)的轉(zhuǎn)子技術(shù) 更高的氣體吞吐量 最大的制程靈活性 無油 低振動 高度可靠 免維護(hù) 可用于嚴(yán)苛制程 使用壽命延長 先進(jìn)的控制器設(shè)計 自動調(diào)整 自行診斷功能 直流電機(jī)驅(qū)動 無電池運(yùn)行 緊湊型設(shè)計 占地面積小 半機(jī)架控制器 技術(shù)數(shù)據(jù) 入口法蘭 ISO200F 出口 KF40 吹掃口 KF10 水冷卻接頭 PT1/4 抽速 N2 1300ls-1 H2 800ls-1 壓縮比 N2 108 H2 103 加熱時的極限壓力 10-7Pa(10-9Torr) 最大連續(xù)出口壓力* 270Pa(2Torr) 最大氮氣吞吐量* 1500sccm 額定速度 32500rpm 啟動時間 7分鐘 最高入口法蘭溫度 120 C 輸入電壓 200至240( 10)V交流 功耗 0.85kVA 泵重量 39kg 控制器重量 9kg *水冷卻