短弧汞氙燈,又名平行光曝光燈.功率主要有5000W,3000W,8000W等,用途最廣泛的是5000W平行曝光燈.球形高壓短弧汞氙燈 英文名稱是Mercury Xenon Short Arc Lamps 該燈光譜范圍主要在325nm~450nm之間，是在高壓汞蒸氣中產生電弧發光的短弧燈，此類燈管具有高 輻射 、多線光譜 、在紫外光區有較高的輻射能量 、壽命長、高光學質量等優點，適用于全自動曝光系 統和半導體生產光刻。 主要規格型號：日本USHIO系列型號有:PC-5001CBT,PC-5001CSN,PC-5001CBTL,PC-5001CSNL,PC-5002RC,PC-5002AD,PC- 5001TA;PC-5000MF,PC-5000SG、PC-3500SG；、同時還有點光源平行光曝光燈：型號有：ＳＵＶ-1003ＦＡ；ＵＶＬ-3500ＳＩ；ＵＳＨ-5000ＭＧ，UXM-5000TA、USH-3502MA，USH-2004MB、HSA－2002－30341............. 美國ORC型號有:HVF-5001CBT/R,HVF-5001CSN/R,HVF-5000MFN/R,HVF-5002AD/R,