單晶125*125*150（6寸）硅片項目參數要求a(mm)參數要求h(mm)單晶硅片125.0 0.5150.0 1.0125.0 0.5165.0 1.0156.0 0.5200.0 1.0單晶硅片技術特征項目參數要求參數要求參數要求直徑尺寸125*125mm 0.5mm125*125mm 0.5mm156*156mm 0.5mm對角線尺寸150mm165mm200mm晶向 100 3 100 3 100 3 電阻率0.5 3.0 .com0.5 3.0 .com0.5 3.0 .com少子壽命 2.0us 2.0us 2.0us徑向電阻變化 25﹪ 25﹪ 25﹪氧含量 1.0*1018at/cm3 1.0*1018at/cm3 1.0*1018at/cm3碳含量 5.0*1016at/cm3 5.0*1016at/cm3 5.0*1016at/cm3硅片彎曲度 35 m 35 m 35 m厚度200 20 m200 20 m200 20 m崩邊 2mm 2mm 2mm線痕15 m15 m15 m