羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?。它是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來的。根據(jù)羅茨真空泵工作范圍的不同,又分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(又稱
機(jī)械增壓泵)和高真空多級(jí)羅茨泵。一般來說羅茨泵具有以下特點(diǎn): 在較寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)有較大的抽速; 起動(dòng)快,能立即工作; 對(duì)被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感; 轉(zhuǎn)子不必潤滑,泵腔內(nèi)無油; 振動(dòng)小,轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡條件較好,沒有排氣閥; 驅(qū)動(dòng)功率小,機(jī)械摩擦損失小; 結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積??; 運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。 因此,羅茨泵在真空鍍膜、冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)等行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用。