CF高真空擋板閥系列是通過電磁換向閥改變氣路方向，控制執行氣缸驅動閥門作啟閉運動。CF高真空擋板閥系列用于接通或切斷真空管路中的氣流。CF高真空擋板閥系列適用介質為純凈空氣和非腐蝕性氣體。CF高真空擋板閥系列帶反饋信號裝置。

?主要技術性能 Main Technical Performance

?　適用范圍：Applicability 　10⁵～1.3×10^-4Pa(軸封為橡膠) ; 10⁵～1.3×10^-5Pa(軸封為波紋管)?
閥門漏率：Valve Leak Rate 　≤1.3×10^-4Pa.L/S.(軸封為橡膠) ;? ≤1.3×10^-5Pa.L/S.(軸封為波紋管)?
適用溫度：Applicable Temperature 　-25～+80℃(丁腈橡膠) ;　-30～+150℃(氟橡膠)?
氣源壓力：Annoy pressure 　0.4～0.6MPa
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