產品品牌：廣州弗魯克

產品型號：FRO-500

微電子超純水處理

用戶	水源	源水水質特點	出水用途	出水水質	關鍵工藝設備
半導體工廠新材料工廠	自來水	附合國家飲用水標準	硅晶片沖洗水新材料生產水	18.2MΩ/cm @25℃； 出水溶解氧含量小于10ppb；其它指標符合國家電子級水EW-1標準	過濾器、軟水器、RO反滲透膜、陰床、陽床、混床、紫外線消毒器

超純水處理 超純水系統分為預處理、反滲透系統、精脫鹽系統及產品水儲存輸送系統等部分。設計原則 1.操作安全、運行穩定、易于管理2.具備完善、可靠的自我保護功能3.具備良好的故障恢復性能4.具備最佳運行狀態重現性系統階段質量標準(25°C) 1.一級反滲透產水電阻率 ρ＞0.1MΩ.cm2.二級反滲透產水電阻率 ρ＞1.0MΩ.cm3.EDI電脫鹽產水電阻率 ρ＞15.0MΩ.cm4.產品水電阻率 ρ＞18.0MΩ.cm系統階段性能 1.一級反滲透RO系統水利用率 ≥75％2.二級反滲透RO系統水利用率 ≥85％3.EDI電脫鹽系統水利用率≥90％4.產品水電阻率 ＞18.0MΩ.cm5.RO膜使用壽命不低于3年，三年后RO膜脫鹽率＞95％EDI膜塊使用壽命不低于3年 流程圖 主要設備索引 多介質過濾器活性炭過濾器精密過濾器全自動軟水器RO反滲透膜混床UF超濾UV紫外線消毒器水箱 純水和膜處理工藝 在純水處理、尤其是超純水處理工藝中，各種膜處理工藝被廣泛地使用。不同的過濾器能濾除對應的雜質。每種膜處理設備都有各自的進水要求，所以，純水處理工藝都是用低級別的過濾設備作為高級別過濾器的前級。經過RO反滲透的水，其中鹽分被過濾掉，才能測量出水的電阻率出現升高。對于超純水需要二級反滲透才能滿足要求。