微量氣體分析儀GA-360EGA-360E產品名稱：微量氣體分析儀產品型號：GA-360E生產廠家：HORIBA堀場概要它是可以對用于半導體工藝的混合氣體(N2、O2、He、Ar、H2、Air)中的微量不純物進行超高靈敏度、高精度(最小檢測感度10ppb)連續檢測的裝置。由于采用了交替流動調制方式，可以和零氣體不斷比較的同時進行檢測，所以沒有零點漂移，能夠獲得長期穩定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進行了集中，所以系統升級也很容易。最適于半導體氣體制造設備的質量管理。特點1分析儀最大可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分，2種成分可同時以數字形式顯示濃度。采用了交替流動調制方式，沒有零點漂移，可以獲得長期穩定的連續檢測值。不需要進行光學調整，維護性得到了提高。由于搭載有流量(壓力)異常、斷路器(電磁閥)、失火報警(GA-360E)、電源斷開的自我診斷功能，所以能夠迅速地在發生異常時采取措施。