Nicolet專業硅片分析系統為半導體行業硅片分析量身打造?;诠δ軓姶蟮腘icoletFT-IR光譜儀,Nicolet硅片分析系統完美滿足半導體研究人員與產品開發團隊的一切需求。Nicolet專業硅片分析系統基于標準晶圓測試平臺(最大到直徑300mm)和享有盛譽的Nicolet硅片分析軟件包,分析快捷有效。軟件內置所有適用于常規半導體行業分析測試內容的分析方法,并可按用戶需求添加適用于獨特應用的分析方法,功能更為強大。Nicolet專業硅片分析系統可靈活應用于諸多半導體分析測試領域,不僅可以分析直徑為50mm-300mm的晶圓,還能測試形狀不規整的硅片。系統不僅支持單點測試和多點測試,并可全自動化整個硅片分析流程。Nicolet專業硅片分析系統標準化應用●厚度測量---適用于外延層、微電機系統(MEMS)器件、絕緣硅(SOI)、多晶硅和III-V族半導體膜---多種計算方式適用于0.25-750 m的外延層測量●間隙氧和取代碳含量檢測---支持ASTM、JEIDA和DIN國際標準●介電膜表征---硼磷硅玻璃(BPSG)、磷硅玻璃(PSG)和氟化硅玻璃(FSG)膜中摻雜劑含量的測試---SiN和SiON膜中氫含量的測試Nicolet專業硅片分析系統標準化應用Nicolet專業硅片分析系統倚靠賽默飛世爾科技全球100多位專家的強大技術力量,為各個領域的應用提供并設計專業的解決方案??涨暗钠焚|保證、專業的培訓課程和精益求精的產品完全滿足半導體及太陽能硅材料行業的所有需求。產品說明Nicolet專業硅片分析系統硬件●透射/反射模式●手動安裝晶圓●全自動化硅片分析●最優化光學選件,充分保障數據精準度Nicolet專業硅片分析系統軟件●易學易用的操作界面●觸摸屏設計●三重安全保障●大氣背景自動扣除●定制開發應用軟件包●多種化學計量學算法,如線性回歸、最小二乘法、偏最小二乘法●結果易于轉化成其他Windows應用軟件可辨識的格式,形成通用的報告,方便展示