■性能指標　　 波長范圍：200nm-800nm（可擴展到25um），離軸拋物鏡焦距f=500mm　　 相對孔徑比：D/f=1/67　　 線色散倒數：1.6nm/mm　　 狹縫　　　寬度范圍：0.01-3mm連續可調　　　示值：0.005mm/格　　　最大高度：25mm　　 主機重量：20kg　　　技術指標　　 分辨極限：優于0.1nm(在576.96nm處)　　 波長示值誤差：優于 0.3nm　　 波長重復性：0.05nm（單向）　　 儀器雜散光：10-3，距主線(632.8nm)2mm處測量　　 掃描速度連續可調：100nm/min-0.005nm/min（可更低）　　 采集間隔可變：0.0025nm-1nm（可更大）　　 動態范圍達五個數量級以上，分段積分時間可變　0.004秒-3秒（可更長）　　 測量精密度：優于0.4％