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激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標準,是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量儀器,在高端制造領域應用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、穩定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現最高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。
SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態,如振動、絲桿導軌的動態特性、驅動系統的響應特性等。
精度高
SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。
功能廣
n? 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;
n? 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
n? 可實現對機床回轉軸的測量與校準;
n? 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;
n? 具有動態測量與功能,包括位移、速度、加速度、振幅和頻率等,可進行振動、絲桿導軌的動態特性、驅動系統的響應特性等;
n? 支持手動或自動進行環境補償。
軟件強
n? 友好的人機界面;
n? 豐富的應用功能模塊;
n? 向導式的操作流程;
n? 簡潔化的記錄管理;
n? 支持中文、英文和俄文界面;
支持企業專屬模板定制。