（五）程序設計

1.?程序設計

根據系統的控制要求，采用合適的設計方法來設計PLC程序。程序要以滿足系統控制要求為主線，逐一編寫實現各控制功能或各子任務的程序，逐步完善系統指定的功能。除此之外，程序通常還應包括以下內容：

1）初始化程序。在PLC上電后，一般都要做一些初始化的操作，為啟動作必要的準備，避免系統發生誤動作。初始化程序的主要內容有：對某些數據區、計數器等進行清零，對某些數據區所需數據進行恢復，對某些繼電器進行置位或復位，對某些初始狀態進行顯示等等。

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2）檢測、故障診斷和顯示等程序。這些程序相對獨立，一般在程序設計基本完成時再添加。

3）保護和連鎖程序。保護和連鎖是程序中不可缺少的部分，必須認真加以考慮。它可以避免由于非法操作而引起的控制邏輯混亂，。

PFEIFFER TPS 601 POWER CONTROLLER

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PFEIFFER TPS 600 POWER CONTROLLER

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SMC L-Motion Slit valve, XGT221-32222-1F

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SMC L-Motion Slit valve, XGT222-32222-1F?-X337

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RF HF CABLE / ION SRC HF / NOVELLUS SPD-S, 03-255004-00

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WJ 999/ 1000, 909457-001, BAFFLE,MAIN,100?0,-WPL

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WJ 999/ 1000 , CARD,CONTROLLER?,SERVO,MOTOR,2 AX / 085896-000

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P5000 Throttle V/V ASSY / Vexta Stepping motor / PX245-02AA-C4

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CABLE ASSY,CA57-4, RF Generator, Novellus 03-00288-04 / A

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PFEIFFER DCU 001 / Display and operating Unit /PM 041 816 AT

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MKS Manometer Gauge, 223B-22412, 27-156444-00 , 1 Torr, Novellus

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AMAT 0100-09153 REV E / Gas Panel BD / P5000 BD

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WJ 999/ 1000 , MKS 1253E-14167 VALVE,CONTROLLE?R,EXHAUST THROTTLE / 088496-000

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WJ999/ 1000, 910402-001 , CARD,INPUT,TC48?6- APL

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WJ999/1000, 912086-001 / SENSOR,HEATER,I?NFRARED,ASSY- APL

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VAT 02010-AA-1009 Transfer Vacuum VALVE / Working Condition

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CHEMRAZ 5641-1560-SC657?, FORMED O-RING