耐腐蝕真空機組是由兩種以上的泵串聯而成，廣泛地用于化工、食品升華干燥、高空模擬試驗等的抽真空系統中，主要有三大類型，下面一起來了解一下。
　　1、羅茨泵－水環泵：
　　耐腐蝕真空機組中水環泵的作用是造成羅茨泵所需的預備真空，因此要求該水環泵的最大允許排氣壓力，即是說，一方面要盡量提高水環泵的極限真空，另一方面，也要設法提高羅茨泵的最大允許排氣壓力。
　　一般情況，單級水環泵極限真空度不高，實際上不用單級水環泵作為羅茨泵的前級泵，而用能提高極限真空度的雙級水環泵作為前級泵使用，采用雙級水環泵，還可以提高機組的極限真空度。
　　一臺羅茨泵的極限真空度是較低的，特別是當它與水環泵組合運行時，使用范圍受到限制，整個耐腐蝕真空機組的極限真空度可能更低，但若用兩臺羅茨泵串聯再與水環泵組合，就能大大提高機組的極限真空度，故在這種類型里通常見到的是兩臺羅茨泵串聯后再用雙級水環泵作前級泵組成耐腐蝕真空機組。
　　2、羅茨泵－水環泵－大氣泵機組：
　　即使采用雙級水環泵，極限真空度的提高也只是在一定的范圍之內，這是因為受到水的飽和蒸汽壓的限制。水環泵的理論極限壓力就是水的飽和蒸汽壓。如果考慮氣體返流等因素的影響，實際上水環泵的極限壓力顯著比該水溫上的飽和蒸汽壓力為高。為了提高前級泵的極限真空度，還可以使水環泵與大氣泵組合使用。
　　這樣，串聯一級大氣泵后的極限真空度可達20~30Torr,如果水環泵與二級大氣泵組合，則極限真空可達2~10Torr。
　　3、羅茨泵－水環泵并聯機械真空泵：
　　此機組主要用于需要處理大量水蒸汽，且極限真空度要求較高的抽真空系統，例如在真空干燥方面，要求處理大量水蒸汽的真空系統中，使用水環泵是較合適的，但由于其極限真空度不高，致使整個耐腐蝕真空機組的極限真空度較低。雖然在要求真空度較高的抽真空系統中，需要極限真空較高的機械真空泵作為前級泵使用。但由于水環泵的耗電量大，效率很低，噪聲高，在需要長時間的真空干燥系統中，用水環泵作為羅茨泵前級泵很不經濟。
　　我們在平常的使用中，耐腐蝕真空機組主要以上三種類型，它們各有各的優點，在實際的運用中要根據實際的情況來選擇，充分發揮作用。
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