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硫化物靶材：硫化鋅靶材ZnS、硫化銅靶材CuS、硫化鎘靶材CdS、硫化銦靶材InS、硫化鉬靶材MoS2、硫化鐵靶材FeS、硫化鉛靶材PbS、硫化錫靶材SnS、硫化鎳靶材NiS、硫化鉭靶材TaS2、硫化鉍靶材BiS、硫化銻靶材SbS、硫化鍺靶材GeS、硫化鐵靶材FeS2。

氮化物靶材：氮化鋁靶材AlN、氮化鈦靶材TiN、氮化鎵靶材GaN、氮化鎂靶材MgN、氮化硅靶材Si3N4、氮化硼靶材BN、氮化銅靶材CuN、氮化鈮靶材NbN、氮化鉭靶材TaN、氮化鉻靶材CrN、氮化鋯靶材ZrN。氮化鈣靶材CaN。

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