高真空技術(shù)中使用的擴(kuò)散泵油，要求耐熱氧化性，冷卻溫度下蒸氣壓低，且其蒸氣壓隨溫度變化大，沸騰溫度不能過(guò)高。早期曾使用水銀，目前主要使用礦油類、酯類、聚苯醚及硅油等。其中以硅油的性能最好，它具有熱氧化穩(wěn)定性高、粘溫系數(shù)小、沸點(diǎn)范圍窄、蒸氣壓曲線陡（溫度變化一點(diǎn)，蒸氣壓變化很大），常溫蒸氣壓低，凝固點(diǎn)低，加之化學(xué)惰性，無(wú)毒、無(wú)味、無(wú)腐蝕。因而它可在250℃下長(zhǎng)時(shí)間使用，在真空下允許在更高溫度下使用。當(dāng)前各國(guó)使用的擴(kuò)散泵硅油主要仍是DOWCORNING公司開發(fā)的下列兩種DC-704和DC-705。使用上述硅油可獲得1.333×10-7~1.333×10-11kPa（無(wú)阱條件下）及1.333×10-10~1.333×10-12kPa。DOWCORNING擴(kuò)散泵油是為高真空和在生產(chǎn)作業(yè)中快速對(duì)大容積氣體抽真空而設(shè)計(jì)的，國(guó)內(nèi)95%以上的進(jìn)口擴(kuò)散泵指定用DOWCORNING的擴(kuò)散泵硅油。