主要用于半導(dǎo)體、太陽能電池生產(chǎn)線中的PECVD設(shè)備、等離子體鍍膜設(shè)備、離子刻蝕設(shè)備、薄膜材料改性設(shè)備等。◆ 13.56MHz射頻電源技術(shù)特點： 射頻源采用石英晶體振蕩電路產(chǎn)生13.56MHz的射頻信號，頻率穩(wěn)定性高 具有手動調(diào)節(jié)和自動調(diào)節(jié)兩種模式 輸出功率穩(wěn)定可靠 具有軟啟動和功率保護功能 主要技術(shù)參數(shù)： 輸出頻率：13.56MHz 輸出功率：100W～1000W連續(xù)可調(diào) 輸出功率穩(wěn)定度：優(yōu)于0.5％ 匹配范圍：(2.7～45) －j(0～70)