內容提要超精密定位工作臺技術是集機械學、電子學、光學、計算機控制技術與一體的綜合性技術，為IC制造技術、精密加工技術、機密測量技術等提供精密定位裝置。本書系統闡述了超精密氣浮定位工作臺中的氣浮支承技術、系統動力學、超精密定位運動及其控制等基本理論與方法。本書的主要內容包括：超精密氣浮支承技術和精密定位工作臺電磁直接驅動的基本理論和技術；超精密氣浮支承的建模、有限元分析方法及其數值計算的理論與方法；超精密氣浮定位工作臺的動力學建模以及動態特性分析；超精密定位工作臺的定位運動分析及其控制方法研究。本書可作為數字制造設備、精密加工設備、精密測量儀器、生物醫藥裝備等行業科研技術人員的參考書，也可作為高等院校相關專業的研究生教材。