一、原理結構圖1是用于敏感旋轉載體橫滾（或俯仰）角速率的硅微機械陀螺結構圖，1為單晶硅質量，2為單晶硅彈性扭轉支撐梁，3為玻璃電極極板，4為玻璃電極極板上蒸鍍的金屬電極。玻璃極板和質量之間的間隙為20 m，玻璃板的四個電極和質量之間形成四個電容器。坐標系OXYZ固定于陀螺的質量上，?為質量沿OY軸的擺動角速度， 為載體的旋轉角速度， 為載體的橫滾（或俯仰）角速度（即被測角速度）。陀螺固定于旋轉載體上，當旋轉載體以 角速度旋轉的同時又有橫滾（或俯仰）角速度 輸入時，單晶硅質量就受到周期性變化的哥氏力（哥氏力變化頻率為載體旋轉頻率）作用，使質量產生沿OY軸擺動，從而引起由單晶硅質量和玻璃電極構成的四個電容器C1、C2、C3、C4的變化，把電容變化信號轉換成電壓變化信號之后經放大，便得到和被測角速率 成比例的電壓信號。二、技術指標滾動角速度1～25r/s零位偏置 0.5 /s俯仰和偏航角速度300 /s零位漂移 0.03 /s/h分辨率 0.1 /s供電電源 15VDC, 18mA比例系數30mV/ /s工作溫度-40℃～+55℃非線性度 1%FS儲存溫度-55℃～+70℃輸出方式正弦波調幅信號沖擊正諧振動半周期150g,6ms振動任意方向隨意振動:10g(f=20～2000Hz)加速度任意方向的線加速度:40g;沿自旋軸的線加速度:75g;重量8克(敏感元件)15克(包括電路)外形尺寸20*20*5mm3（敏感元件）35*35*10mm3（包括電路）三、用途本陀螺用于敏感旋轉體的橫滾（或俯仰）角速率，例如，飛行體的橫滾或俯仰角速率，鉆井鉆頭垂直度和穩(wěn)定度的控制等，它具有廉價、體積小、重量輕、功耗低、產品一致性好，性能穩(wěn)定等特點。CRS-A01微機械陀螺量程 200 /s(可選)比例系數（15mV 5mV）/ /sec比例系數溫度特性＜0.05％/℃零位電壓范圍0 100mV零位變化（全溫度）7 /sec加速度影響＜0.05/sec/g起動時間＜3sec（Typical）頻響＞50Hz線性度＜0.05％供電電壓 15V供電電流 20mA工作環(huán)境：工作溫度-40℃～+80℃儲存溫度-55℃～+100℃振動6g，20～2000Hz，三分鐘沖擊500g，半正弦重量100gCRS-T01型微機械陀螺慣性組合1.三軸角速度陀螺1.1測量范圍 150 /s1.2線性度(F.S)0.1%1.3交叉耦合0.1%1.4分辨率0～ 5 /s 0.002 /s 5 /s～ 150 /s 0.02 /s1.5零位漂移 0.01 /s/h(1 )1.6零位逐次啟動重復性 0.01 /s(1 )1.7帶寬 50HZ2.三軸線加速度計2.1測量范圍 30g2.2線性度(F.S)5 10―42.3交叉耦合5 10―42.4零位綜合誤差 3 10―4g2.5帶寬 100HZ3.環(huán)境適應性3.1工作溫度－40℃～＋60℃3.2儲存溫度－55℃～70℃3.3振動20～2000HZ6g，1分鐘，軸向。3.4沖擊100g，持續(xù)時間：5～8ms，三方向。4.工作電源28 3V電流： 0.5A加熱電源28 3V電流： 3A5.外形尺寸 120mm 150mm6.重量3.5kg