一、用途
LW300MT專為微電子行業(yè)量身定做，適用于硅、砷化鎵、磷化銦等基片6 8 盤的生產工藝檢查；可以方便的快移和精確的位移檢查；也可以適用其它需較大面積標本的工藝檢查

二、主要技術參數
1、鏡筒：B雙目，傾斜30 （本儀器主機含三目攝像接筒裝置）
2、大視野目鏡：WF10Xф18mm
3、長工作距離平場物鏡：PL5X，PL10X，PLL20X，PLL40X（S），PLL80X（S）
4、轉換器：五孔
5、總放大倍數：50X~800X
6、載物臺：三層機械移動，尺寸280 270mm，移動范圍204mm 204mm
7、調焦：粗微動同軸，升降范圍25mm，微動格值0.0007mm，帶鎖緊和限位裝置
8、光源：反射柯勒照明，透反射照明鹵素燈6V20W，亮度可調，反射照明帶起偏振片
9、正交偏光裝置

三、選購件
1、目鏡：12.5X、16X、20X
2、帶尺可調目鏡：HWF10X（精度0.01mm或0.005mm）
3、物鏡：平場物鏡：PL4X，PL5X，PLL25X，PLL50X，PLL60X，PLL80X，PLL100X（S）干鏡
4、軟件：金相分析軟件、粒度分析軟件、測量軟件等式
5、電腦圖像分析系統(tǒng)：
金相分析系統(tǒng)：LW300MT主機、圖像適配鏡、數碼攝像頭、金相分析軟件、電腦
電腦型：LW300MT主機、圖像適配鏡、數碼攝像頭、電腦
數碼型：LW300MT主機、圖像適配鏡、數碼相機、電腦