1、智慧型微電腦自動控制系統。 2、分割分段式快速吸氣、改善傳統吸氣方式節省大量時 間、整面吸氣均勻。 3、全面積量感測、準確控制曝光量。 4、吸氣、曝光、放氣動作流程全自動完成。 5、曝光動作可采用手動式、依操作人員需要而自行調速。 6、特殊規格或特殊光源可依需要定做。 1.Intelligence type computerized automatic control system. 2.Divided step vacuum system reduce lots of time save operation cycle. 3.Total integrate sensor.insur exposure volume. 4.Exposure cycle fully automatic. 5.Exposure cycle can be switch to manual by operator. 6.Special size or special lamp are on demand. 可選擇配備 Optional Attachment 1、光源可選擇3KW 2、二次曝光（散光）配備 1.3KW instant 2.Second time exposing attcahment