束管真空抽氣設備干式真空泵

干式機械泵，束管真空抽氣設備，礦用真空泵，干式真空泵，無油干式機械真空泵

干式真空泵主要有下列幾種形式：1、干式螺桿真空泵??2、?無油往復真空泵

???????????????????????????3?、爪式真空泵????4、?無油渦旋真空泵

????今天我們說的束管真空抽氣設備干式真空泵，故名思義，就是用于抽空束管監測系統中束管里的物質的，大家都知道，束管監測系統主要就是監測礦井下氣體濃度的主要裝置，它是監測員工能否正常在井下生存的重要指標，束管，做為檢測氣體的輸送管路它的重要性也不言而喻，干式真空泵就是抽離管路里不必要的物質，讓監測結果更準確。

????干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：?

1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；?

2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；?

3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；?

4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；?

5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。