真空度測試儀漏電電流的處理
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真空度測試儀漏電電流的處理
對處于分斷狀態的真空滅弧室兩端加高壓時,會有數值不等的幾個微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這此漏電的總和有更大的不穩定性和不可預測性,并且在數值上與10E- 4Pa 數量級的真空滅弧室的電離電流相當。我們采用兩次起動高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。