特點用于對千分尺測量面的平行度和平面度進行檢測每組包括4種厚度帶有配套的攜帶箱技術參數平面度：0.1um平行度：0.2um直徑：30mm借助于平行平晶產生的干涉條紋圖案可對測量表面的平行度進行檢測通過下述方法可確定所測量表面間的平行度：在測砧上夾緊平行平晶，從心軸方向關擦在測力作用下產生的干涉條紋的數量當平行平晶約為1um（0.32um 3=0.96um）時，從測砧邊緣關擦的條紋數一定不會超過一。