測量面的平行度誤差: 測量范圍上限至100MM的千分尺兩測量面的平行度采用絲桿螺距的1/3或1/4的光學平晶來進行檢驗;依次將光學平行平晶防入兩測量面間,轉動測力裝置,施加5-10N的力,使光學平行平晶與測量面間相接觸,并輕輕轉動平晶,使兩側量面出現的干涉帶數目減至最少. 測量范圍大于100MM的千分尺測量面的平午度可用自準直儀進行檢驗. 在距測量面邊緣0.4MM范圍內的平行度忽略不計.測量范圍最大允許誤差10N測力下兩測量面的平行度公差0-25MM0.004MM0.002MM25-50MM0.004MM0.002MM50-75MM0.005MM0.003MM75-100MM0.005MM0.003MM100-125MM0.006MM0.004MM125-150MM0.006MM0.004MM150-175MM0.007MM0.005MM175-200MM0.007MM0.005MM200-225MM0.008MM0.006MM225-250MM0.008MM0.006MM250-275MM0.009MM0.007MM275-300MM0.009MM0.007MM