一、特點：1、采用雙重閉環運動控制,電機在高速運動時具有精確的定位性能。2、采用本公司開發的嵌入式模塊控制電機,提高了電機響應速度，還簡化了儀器與PC機的接口,PC機與儀器USB線與S端子線連接。3、采用花崗巖平臺，外觀簡潔大方。4、表面光由獨立24組光源組成，每一組均為恒流源驅動，200極連績調。5、配有我公司專用M2D-CNC軟件，大大提高測量效率。二、技術參數：工作臺金屬臺尺寸(mm)450*280玻璃臺尺寸(mm)306*196運動行程(mm)250×150Z軸升降:120mm(調焦)電機三軸運動速度100mm/s三維定位精度0.001mm測量與瞄準系統(標準配備)攝影機：日本原裝1/2"彩色CCD攝影機雙焦物鏡倍率(美國NAVITAR)：0.7~4.5X工作距離：92mm電視總倍率：30~190X物方視場：10.6~1.6mmX.Y坐標示值誤差≤(3+L/75)μmX.Y.Z光柵尺解析度：0.0005mm儀器重量350kg◆照明：表面光源與透射光源均用LED，亮度可調電源：AC220V/AC110V，50HZ，≤100W