AWM40000系列包括不帶放大和放大/信號處理的信號。AWM42150V和AWM42300,使用和AWM2000相同的電路。AWM43300V和AWM43600V使用和AWM3000相同的電路。AWM43600V為6SLPM器件。 特點: ●多個集中安裝/O形密封圈 ●陶瓷流量管(無引氣管),0-1000sccm ●塑料流量管(無引氣管),0-6SLPM ●高共模壓力(150psi) ●工作溫度可至125?C ●零點和滿量程高穩定性技術指標AWM42300VAWM43300VAWM43600V流量范圍(滿量程) 1000sccm+1000sccm+6LPM輸出電壓 @標定點54.7 3.7mVDC @1000sccm5 0.15VDC @1000sccm5 0.15VDC @6LPM零點電壓0.0 1.0mVDC1.00 0.05VDC1.00 0.05VDC電源(VDC)10 0.01功耗(mW)50反應時間(ms)1.0共模壓力(psi)---