AWM3000小流量傳感器為輸出1-5V氣體質量流量傳感器，傳感器內部集成發熱器控制電路、雙傳感電路、差分放大電路，量程30sccm、200sccm、1000sccm。微差壓雙向流量系列傳感器以極小流量檢測為主，輸出4～20mA，量程0～0.5 水柱主要特點：1）激光校整保證了一致的互換性2）測量流速可至1.0LPM、0～2 水柱、 1000sccm。