半導體特氣檢測儀XD-303半導體特氣檢測儀XD-303特點: 采用定電位電解式傳感器,對被測氣體具有選擇性。 高檢測靈敏度。 能檢測很多種類的半導體特氣。 液晶數字顯示。 規格型 號XD-303AHXD-303PHXD-303BHXD-303檢測對象氣體砷烷(ASH3)磷烷(PH3)乙硼烷(B2H6)其它檢測范圍1ppm0~0.2ppm0~1ppm0~0.3ppm0~1ppm因規格而異最小刻度0.1ppm0.01ppm0.1ppm0.01ppm0.1ppm 采樣方式自動吸引式應答速度60%應答40秒