XP-703D(自動吸引式)半導體特氣檢漏儀產品特性:1、最適合于檢測半導體材料氣體的超微量泄漏檢測;2、采用聲光報警的形式提示氣體泄漏;技術數據:型號:XP-703D檢測原理:熱線型半導體式檢測氣體半導體材料氣體:(砷化三氫、硅烷、磷化氫、乙硼烷) 氣體名稱 砷化三氫磷化氫 乙硼烷 硅烷 氫氣 分子式 ASH3 PH3 B2H6 SiH4 H2檢測的泄漏量pa.m3/s 10 10-7 1.5 10-7 0.5 10-7 2.5 10-7 5 10-7 能檢測的濃度ppm 0.2 0.3 0.10.5 1.0 應答時間:10秒檢測表示:蜂鳴器發出斷斷續續聲音且報警燈閃爍電源:5號錳干電池4個電池使用時間:堿性干電池約9小時,錳干電池約3小時使用溫度范圍:0~40℃尺寸/重量:W68 H155 D32mm,約400克附件:皮革外套、排泄過濾器、過濾器用濾布、檢點氣體、標準配件、5號錳干電池4個選配:電池充電器,耳機