特點： 最適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。 采用聲光報警。 規格型 號 XP-703D 檢測對象氣體 半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等） 檢測原理 熱線型半導體式 采樣方式 自動吸引式 可檢測濃度 （單位：ppm） 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 檢測表示 蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍 應答速度 10秒以內 電源5號錳干電池4節電池使用時間使用堿性干電池使用約9小時（使用錳干電池約3小時）使用溫度范圍0oC～40oC外形尺寸W68 H155 D32（mm）重量約400g附件皮套、排放過濾器、過濾片、檢查氣體、標準附屬品、5號錳干電池4節