MassSpectrometry/Residual工藝監控TOOLweb工藝和工藝腔環境監測。Vision1000B真空本底殘余氣體分析儀。Vision1000C化學氣相沉積（CVD）工藝殘余氣體分析儀。Vision1000E刻蝕（Etch）工藝殘余氣體分析儀。Vision1000I離子注入殘余氣體分析儀。200/300mmResist-Torr光刻膠監測器。HP2Q/HP2QS高壓殘余氣體分析儀。