OX400可用于控制和監視各種半導體應用，并控制環境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。用于半導體擴散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制，用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產工藝中氧氣濃度的測量，測量氧氣濃度，防止粉塵運輸中粉塵爆炸。主要技術參數：測量對象：惰性氣體中的氧氣濃度(易燃性氣體、腐蝕性氣體或液體(包括水蒸氣)除外)測量系統：氧化鋯系統采樣方法：泵式、抽提式等樣氣條件 流速：200±25ml/min(僅適用于傳感器)溫度：0～50℃(無結露)濕度：無結露壓力：0～300PaG最大容許壓力：30kPaG測量量程：0～10ppmO2至0～100vol%O2輸出量程 自動：0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～100%(默認)固定：設為0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～100%部分：可設置下限值或上限值模擬輸出 2路輸出，第一路：4～20mADC(最大負載電阻550Ω)，第二路：可選為0～1，0～5，0～10VDC(負載電阻：10kΩ或更大) 接點輸出 報警輸出2點：錯誤接點，O2濃度報警接點指定量程范圍輸出1點：接點輸出多選擇器(選配件)：流路切換接點輸出和測量中流路信息接點輸出接點輸入1點：采樣氣體吸入泵的遠程ON/OFF自診斷 故障：傳感器錯誤，加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷開，設備溫度錯誤，CPU錯誤，FAN停止串口通信：RS-232，38400bps標定方法 (1)3點：10ppm，1000ppm，空氣，(2)2點：可設定為零點氣和量程氣標定，(3)1點，(4)空氣標定 暖機時間：20分以內電源：100～120VAC/220～240VAC，50/60Hz功耗：100～120VAC，200VA最大，220～240VAC，400VA最大尺寸：213(W)x132(H)x約375(D)mm質量：約5kg管線連接氣體入口：Rc1/4或1/4NPT內螺紋氣體出口：Rc1/4或1/4NPT內螺紋環境條件安裝條件：室內，盤裝或壁裝，非易燃區域環境溫度：0～40℃，無結露環境濕度：5～85%RH儲存溫度：-5～50℃重復性：±1%F.S.(10，100，1000ppm，1%，10%或100%)線性：±2%F.S.±3%F.S.(0～100ppm或更低)響應時間：90%響應10秒內(0～1%或更高)30秒內(小于0～1%)漂移：±2%F.S./周