HoribaSTECE40E50E60質量流量控制器HoribaSTECE40E50E60質量流量控制器STEC-E40系列 適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制 適用于廣泛的用途：在普通產業市場中，擁有眾多的銷售業績，引以為豪。 低成本：產品陣容中有力求具有成本優勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3 技術規格型號 SEC-(質量流量控制器) E40/E40MK3 E50/E50MK3 SEF-(質量流量計) E40 E50適用氣體種類*1 非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)氣體接觸部材質 SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼閥門型號 非通電時　關閉標準流量量程(N2相應F.S.) 10/20/30/50/100/200/300/500SCCM1/2/3/5/10SLM 20/30SLM流量控制范圍(適于SEC系列) 2?100%F.S.流量測量范圍(適于SEF系列) 0?100%F.S.響應速度 1秒以內(T98)流量精度 1%F.S.直線性 0.5%F.S.反復性 0.2%F.S.工作差壓值值(適于SEC系列) 10SCCM?5SLM：50?300kPa(d)　10?30SLM:100?300kPa(d)使用壓力(適于SEF系列) 300kPa(G)以下耐　壓 1MPa(G)以下外部泄漏率 1 10-8Pa?m3/s(He)以下使用環境溫度 5?50℃(精度的確保：15?35℃)流量設定信號 0.1?5VDC(輸入阻抗1M 以上)/2?100%F.S.流量輸出信號 0?5VDC(最小負荷電阻2k )驅動電源 +15VDC 5%50mA-15VDC 5%150mA3VA ＋15VDC 5%50mA 15VDC 5%200mA3.9VA標準接頭*2 1/4SWL類型 型號 SEC-(質量流量控制器) E60 E70 E80 SEF-(質量流量計) E60 E70 E80適用氣體種類*1 N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 N2、O2、Air、H2氣體接觸部材質 SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼閥門型號 非通電時　關閉標準流量量程(N2相應F.S.) 50/100SLM 200SLM 300/500SLM流量控制范圍(適于SEC系列) 5?100%F.S.流量測量范圍(適于SEF系列) 0?100%F.S.響應速度 1秒以內(T98) 2秒以內(T98)流量精度 1%F.S. 2%F.S.直線性 0.5%F.S. 1%F.S.反復性 0.5%F.S. 1%F.S.工作差壓值值(適于SEC系列) 100?300kPa(d) 200?350kPa(d)使用壓力(適于SEF系列) 350kPa(G)以下耐　壓 1MPa(G)以下外部泄漏率 1 10-7Pa?m3/s(He)以下 450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內使用環境溫度 5?45℃(精度的確保：15?35℃)流量設定信號 0.25?5VDC(輸入阻抗1M 以上)/5?100%F.S.流量輸出信號 0?5VDC(最小負荷電阻2k )驅動電源 ＋15VDC 5%50mA 15VDC 5%200mA3.9VA標準接頭*2 3/8SWL類型 1/2SWL類型*1:關于記載以外的氣體種類，請另行咨詢協商。*2也可以適用標準接頭以外的接頭。請另行咨詢協商。※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：最大值300kPa(G)；SEC-70/80：最大值350kPa(G)以下。※SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。