HT2000系列空氣質量流量傳感器，該產品芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成：熱偶堆對稱地分布在加熱電阻的上、下游；加熱電阻和熱偶堆的熱結處于一個隔熱底座上。加熱電阻對熱偶堆的熱結加熱，熱偶堆熱結和冷結之間的溫度梯度導致輸出電壓，即本征賽貝克效應。應用領域 ◆ 暖通空調和汽車工業上的質量流量◆ 醫用呼吸器和通風器◆ 氣體分析儀◆ 氣體標定性能◆ 對低速和微差壓十分敏感◆ 沒有輸出信號的偏移和偏移漂移◆ 反應速度快（小于10ms）◆ 耐腐蝕性氣體，耐磨擦◆ 耐振動，耐高壓（15個以上大氣壓） ◆ 信號處理電路簡單獨特優勢★ 熱偶堆測溫基于組成材料的本征塞貝克效應。這種測溫方式除了具有靈敏度高，不受干擾的優點外，還不像二極管和三極管測溫，需要外加偏壓，因而不產生輸出信號的偏移和偏移漂移，使測量變得簡單。★ 獨到的隔熱底座設計不用薄膜和表面空穴。因此芯片可以承受強烈震動，耐高壓，耐腐蝕，耐流體中顆粒的沖撞和磨損。★ 適用于氣體流體。性能參數 參 數最 小典 型最 大單 位流量范圍（刻度） 1000 sccm零點漂移 0.1 mv輸出電壓漂移 1 %F.S重復性 遲滯 1 %F.S加熱電流6，恒電流mA加熱功率95，恒功率mW加熱電阻257026902810ohm零點溫漂 0.8 %FS參考電阻溫度系數 -578 Ppm/℃上游熱偶堆輸出（空氣，25℃）149165171mV下游熱偶堆輸出（空氣，25℃）149165171mV工作溫度-10 80℃反應時間 10ms過 壓＞15（217）Bar(psi) 外型尺寸