V10FD-M/H中高壓型MFC/MFM ●通用型,適用于3MPa以下各種氣體 ●響應速度100ms,無需預熱,上電即可操作 V10FD中高壓型流量計 ●無熱漂移,長期穩定性0.1%F.S/年●數模兼容,可使用二次表或計算機控制和顯示流量●內置閥控指示燈/通訊指示燈/流量指示燈●內置4種氣體,無比熱容附加誤差,不影響精度 V10FD-M/H采用全不銹鋼傳感器，適合于測量各種與316不銹鋼兼容的氣體。該產品為模擬和數字兼容型設計：可通 過模擬型二次表或PLC進行設定和顯示瞬時流量；也可通過 數字接口直接與計算機進行通訊。具有通用于模擬型控制系 統和數字型控制系統的特點。 V10FD-M/H采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量流量測 量原理。多氣體多量程的設計便于用戶現場配置流量計：通過撥碼開關可以現場選擇四種測量氣體，每種氣體有3種校 準量程，六個LED指示燈可以較直觀的顯示V10FD-M/H的 各種工作狀態。如果需要對氣體流量進行控制時,還可以加裝 電磁比例調節閥和內置PID調節功能。 與傳統熱式氣體質量流量控制器/計不同,當使用氣體轉換系 V10FD中高壓型控制器數時,V10FD-M/H沒有附加的比熱容誤差,所以,即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同,也不會影響測量精度。 產品應用 真空半導體航空航天工業制造石油化工冶金煤炭環境分析食品藥品生物科技 技術參數 技術指標: V10FD-M/HC質量流量控制器 V10FD-M/HM質量流量計量程范圍: 小量程:5SCCM～10SLM中量程:10SLM～30SLM大量程:30SLM～250SLM測控范圍: 控制器閥控范圍50:1流量計量程比100:1準確度: 流量： 1.5%讀數 0.2%滿量程 可選 0.8%讀數 0.2%滿量程 壓力：0.5%F.S溫度： 1℃線 性: 0.5%F.S重復精度: 0.2%F.S響應時間: 100ms10ms數字量: RS232/485，MODBUS協議模擬量: 0～5V、4～20mA、1～5V供 電: 24V/ 15V可選工作溫度: 0～50℃工作壓力: 工作壓差：0.03～0.5MPa工作壓降： 0.01Mpa最大耐壓: 中壓3MPa，高壓10MPa電氣連接: DB15孔漏 率: 1 10-9SCCSHe溫度系數: 0.015%F.S/℃底座材質: 316L不銹鋼密封材料: 氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠接 頭: VCR1/4;swagelok 6