V10FD-L低壓型MFC/MFM ●普通低耐壓型,適用于1MPa以下非腐蝕性氣體 ●響應速度100ms,無需預熱,上電即可操作●無熱漂移,長期穩定性0.1%F.S/年●數模兼容,可使用二次表或計算機控制和顯示流量●內置閥控指示燈/通訊指示燈/流量指示燈●內置4種氣體,無比熱容附加誤差,不影響精度 V10FD-L為模擬和數字兼容型設計：可通過模擬型二次表或PLC進行設定和顯示瞬時流量；也可通過數字接口直接與計算機進行通 訊。具有通用于模擬型控制系統和數字型控制系統的特點。 V10FD-L采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量流量測量原理。多氣 體多量程的設計便于用戶現場配置流量計：通過撥碼開關可以現場選 擇四種測量氣體，每種氣體有3種校準量程，六個LED指示燈可以 較直觀的顯示V10FD-L的各種工作狀態。如果需要對氣體流量進行 控制時,還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID調節功能。 與傳統熱式氣體質量流量控制器/計不同,當使用氣體轉換系數時, V10FD-L沒有附加的比熱容誤差,所以,即使測量氣體與出廠時的標定 氣體不同,也不會影響測量精度。 產品應用：真空鍍膜太陽能半導體石油石化 煤炭冶金制氣配氣環保 各種分析儀器 技術參數 技術指標 V10FD-LC質量流量控制器V10FD-LM質量流量計量程范圍 小量程:5SCCM～10SLM中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM測控范圍 控制器閥控范圍50:1流量計量程比100:1準確度 流量： 1.5%讀數 0.2%滿量程 可選 0.8%讀數 0.2%滿量程 壓力：0.5%F.S溫度： 1℃ V10FD低壓型流量計線 性 0.5%F.S重復精度 0.2%F.S響應時間 100ms 10ms數字量 RS232/485，MODBUS協議模擬量 0～5V、4～20mA、1～5V供 電 24V/ 15V可選工作溫度 0～50℃工作壓力 工作壓差：0.03～0.5MPa工作壓降： 0.01Mpa最大耐壓 1MPa電氣連接 DB15孔漏率 1 10-9SCCSHe溫度系數 0.015%F.S/℃底座材質 鋁合金或316L不銹鋼密封材料 氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠接 頭 VCR1/4;swagelok 6