CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000 氣體質量流量計 （用于氫氣和氦氣） CMS系列高可靠性氣體質量流量計，使用了山武公司新近開發的微流量傳感器，這種傳感器是感熱式流量傳感單元。超小型結構、高精度傳感器、高密度集成電路設計技術的結合使這種儀表具有精度高、量程比大，且成本低的優點。