可靠的精度優良的再現性使用10nm節距測量360～740nm全范圍波長。采用雙波束方式、雙通道傳感陣列實現高精度和高再現性。追求人性化的舒適方便的操作通過取景器坐在座位上即可確認測量位置。致力于免維修化的高可靠性設計通過技術革新最大程度地避免SCI/SCE之間的轉換以及移動過濾器等設備可動部位的產生。在設計和制造調整上引入了ISO9001認證質量管理體系使產品具有高可靠性和耐用性。高水準的簡潔緊湊型設計加載6英寸的大型積分球，實現機身的簡潔緊湊。搭載了3種測量口徑可根據樣品尺寸選擇最適當的測量口徑。可靠的精度優良的再現性可測量A4尺寸大小的樣品的中間部位。