設(shè)計特點 熱式原理 一體化設(shè)計 滿量程從5SCCM到1000SLPM 響應(yīng)時間不超過2秒鐘 操作壓力可達20MPa 對安裝位置不敏感 316SS材質(zhì)，允許測量腐蝕性氣體 無直管段安裝要求 單電源供電技術(shù)參數(shù)流量范圍：從0-5SCCM到0-1000SLPMN2，具體請參考表一響應(yīng)時間：1～2秒精度： 1%滿量程（除204A型）；--------- 1.5%滿量程（204A型）重復(fù)性： 0.2%滿量程量程比：50:1（2%-100%滿量程）環(huán)境和操作溫度：-10～70℃最大操作壓力：3000PSIG（20MPa）