技術參數：量程：流量計5SCCM～30SLPM；控制器5SCCM～20SLPM材質：接液部位：316L不銹鋼；外殼：17-4不銹鋼閥座及閥芯：17-4不銹鋼密封材質：標配為氟橡膠（Viton）可選丁納橡膠Buna，全氟醚橡膠KalRez泄漏率：不超過1 10毫升/秒，氦氣環境溫度及介質溫度：0-60℃精度：1%FS（包括線性精度）量程比:100:1響應時間：500ms重復性：優于0.15%FS壓力極限：1000PSIG最大壓降：流量計：250Pa控制器：7-14KPa（500SCCM以下）控制器：35KPa（500SCCM-20SLPM）電源：24VDC@250mA（流量計）24VDC@350mA（控制器）輸出：0-5VDC或4-20mA（此回路不可接入電源）設定點信號：內置0-5VDC或外置0-5VDC（需去掉跳線）電氣連接：9針D接口（9PinSubD）溫度影響系數：優于0.05%FS/℃壓力影響系數：優于0.01%FS/PSI標準溫度：21℃標準壓力：760Torr重量：流量計：440g控制器：460g