F.S.流量 N2換算10SCCM-20SLM 閥執行機構電磁常閉 控制范圍2%-100%F.S 應答性應答速度 1秒精 度 1.0%F.S.以內線 性 0.5%F.S.以內再現性 0.2%F.S.以內動作差壓49KPa-294KPa(F.S. 5SLM)147KPa-294KPa(5SLM F.S. 20SLM)耐 壓0.98MPa泄露率1 10 8Pam3/second或更小操作溫度0～50 C接觸物質的材料本體:SUS316L隔膜：合金電鍍底座：.PTFE密封墊：合金，SUS316連 接1/4VCR電氣連接9針插座控制信號0-5VDC輸出信號0-5VDC電 源5400：+15VDC( 5%)100mA， 15VDC( 5%)200mA5410：+15VDC( 5%)100mA， 15VDC( 5%)100mA