F.S.流量 N2換算10SCCM-20SLM 閥執行機構電磁常閉 控制范圍2%-100%F.S.應答性0-100%F.S2秒以下控制控制范圍應答性精 度再現性2%-100%F.S.設定 98%F.S.至2秒以內（標準） 1.0%F.S.以內 0.2%F.S.以內精 度 1.5%F.S.再現性 0.5%F.S.使用壓差范圍 5SLM時，49～294KPA5SLM 范圍 20SLM時，98～294KPA壓力限制980KPA泄露率1 10 8Pam3/second或更小操作溫度5～45 C接觸介質的材質本體:SUS316L隔 膜VitonTM(可選:NoepreneTM)閥 座VitonTM(可選:NoepreneTM)密封材料BytonTM(可選:氯丁橡膠)連 接1/4SWL，可選1/8SWL，1/4VCR和1/4RC電氣連接9針插座控制信號0-5VDC輸出信號0-5VDC電 源+15VDC( 5%)100mA 15VDC( 5%)200mA 產品針對于大學、研究所用途開發，作為各種氣體分析儀器、真空設備的采用標準，目前是銷售量最大的產品。