LF-400 SERIES 概要 LF400系列采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制。 可應用在5SCCM到10SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。產品系列完整，可選擇數字式，模擬式，普通，高精度，高壓力型，性能且價格具有競爭力，應用領域廣泛。特點 o 模擬式熱質式流量計/流量控制器：- 低單價- 環境溫度補正- 可應用的流率范圍廣：- 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM- 0～1, 2, 3, 5, 10SLMo 高精度 1%( 10SLM)o 可選用LF系列控制模塊，具有數位顯示、電源供應、流量設定等功能o 國際兼容 應用 o 工業設施的氣體供應監測/控制。o 氣體分析設備。o 固定氣體流量控制。o 氣體混合或分離設備標準 氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為：標準溫度 0℃（273.15K）標準壓強 101325Pa輸入輸出 輸入設定電壓 0～+5.00V輸出電壓檢測 0～+5.00V規格 (熱式) 功能流量計/控制器基本型號 LF400-M滿量程流量范圍(N2)SCCM0～5，10，20，30，50，100，200，500SLM0～1, 2, 3, 5, 10精度(％F.S) 1控制閥動作型式常閉式線性(％F.S.) 0.5～1重復精度(％F.S.) 0.2響應時間(sec) 1流量輸出信號0-+5.00V流量設定信號0-+5.00V電器接頭DB15 pin(接頭)工作環境溫度(℃)5～45工作壓差(MPa)0.1～0.5漏率SCCSHe1 10-9最大耐壓3MPa介質接觸材質304，316，316L密封材料金屬密封接頭VCR 1/4、1/2Swagelok1/8 、1/4 、3/8 、1/2 或 3、 6、 8、 10、 12mm接頭和尺寸 6mm,1/4 Swagelok:127 28 100mm1/4 VCR:127 28 100mm電源要求+15V,50mA;-15V,200mA型號 LF400-M □ □ － □□□ － □□□ －□□□型式A模擬式B數字式功能 M流量計C流量控制器流量范圍 ABC 氣體種類 013N2008Air015O2004Ar025CO2001HeFFF其他接頭1/4 VCR1 1/2 VCR23 SWL36 SWL4其他F訊號DC 0~5V1 其他2電源DC+/-15V1 流量范圍是以mL/min，L/min 為單位 例：5mL/min 表示為005500mL/min表示為500 50 L/min(nor) 表示為50L