F.S.流量 N2換算10SCCM-20SLM 傳感器方式熱式質量流量傳感器 閥執行機構電磁常閉 閥方式提升閥 控制控制范圍1%-100%F.S.應答性設定 2%F.S.至1秒以內（標準）精 度 1.0%F.S.以內再現性 0.2%F.S.以內壓力耐 壓 1Mpa動作差壓50Kpa-300Kpa低差壓選購件50Kpa未滿（關于可能壓力，請另行洽談）。溫度使用溫度 0℃-50℃精度保證溫度15℃-35℃濕度容許動作濕度10%-90%（無結露） 報警事件輸出數 報警輸出：1事件輸出：1（開路集電極輸出Max35V:50mA）分辨能力最高分辨能力1mV（1digit）通信通信形式RS232C（多項）/RS485：通信速度9600bps電源所需電源DC+15（ 5%）100mADC-15( 5%) 200mA 連接氣體部分材料SUS316L，SUS316，PTFE，氟橡膠，氯丁橡膠（選購）接 頭 9/16-18UNF，1/4Rc，1/4SSWLTM，1/4VCRTM 安裝姿態無指定 重 量約800g