LINE-TECH會社是專業研發和生產氣體質量流量控制器(MFC) 氣體質量流量計(MFM)的廠家。 產品最大亮點：耐高壓，耐腐蝕 （不防爆） 應用范圍：廣泛的應用在真空鍍膜設備，Sputter磁控濺射臺，PCD,CVD,MOCVD,氧化，等離子刻蝕，單晶爐制造設備，精密的半導體產業，燃料電池，細胞培養發酵罐設備，精密氣體混合分析儀，反應裝置，生物反應器，生物過程控制器，大學實驗室，研究所，食品及制藥產業，二氧化碳飲料灌裝相關設備，醫療設備等等涉及到人工，電子或電腦控制的氣體相關作業。 壓力范圍：M3030 2030 3050 2050系列產品：0.3公斤 90公斤（5psia---1300psia） M3100 M2100系列產品：2公斤 70公斤（30psia---1000psia） 氣體介質:適用于多種氣體介質（包括一些腐蝕性氣體，如三氯化硼、三氟化硼、氯化氫、氟化氫等等） 誤差率：由于環境因素的變化率 1.溫度不同的變化率： 0.1%fs/ C 零點：小于 0.075%fs/ C 最大流量：小于 1.0%fs/10~50 C 2.不同位置的零點變化：最大偏差為 0.5%fs，不是水平安裝的話，安裝完之后從新調整零點。 3.壓力補償： 0.03%fs/psig 4.預熱時間：45分鐘 5.不同供給電源的誤差率： 0.09%fs/電壓變化 原理：熱感式的。流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理（無需溫度壓力補償）。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥門。