特點(diǎn):階差規(guī)用于光學(xué)儀器的Z軸(垂直方向)標(biāo)準(zhǔn)相鄰階差用于干涉儀測(cè)量為0.01um測(cè)量誤差為 0.20um可選用鋼制貨陶瓷型。貨號(hào)相鄰量塊階差值備注No.1-No.2No.2-No.3No.3-No.4No.4-No.5516-19810um5um2um1um鋼制型516-199300um100um50um20um鋼制型516-49810um5um2um1um陶瓷型516-499300um100um50um20um陶瓷型