氬氣是大規模工業生產單晶硅的保護氣，它的要求之高，是控制經營成本必須重視的一個重要方面。 將排出含有雜質的氬氣，除去固體雜質，經緩沖罐進入氬氣壓縮機升壓,，經氬氣純化設備。采用非蒸散型鋯鋁16吸氣劑為凈化劑，在一定溫度下，吸氣劑可于氬氣中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成穩定的化合物或固溶體，從而達到對氬氣精制的目的。最后將凈化后的氬氣送入使用地點.