熱式氣體質(zhì)量流量計是氣體流量計中的新型儀表，區(qū)別于其它氣體流量計，不需要進(jìn)行壓力和溫度修正，直接測量氣體的質(zhì)量流量。一支傳感器可以做到量程從極低到高量程。依據(jù)的原理是流體吸收熱的速度直接與質(zhì)量流量相關(guān)。移動的氣體分子撞擊熱電阻時吸收帶走熱量，流量越大，接觸熱電阻的分子越多，吸收的熱量越多，熱吸收與某種氣體的分子數(shù)，熱學(xué)特性和流動特性有關(guān)。